A Study on NDE technique using Acoustic Reflection Microscope

반사형 음향 현미경을 이용한 비파괴 검사 기술에 관한 연구

In this paper, the characteristic response of reflected signals of acoustic reflection microscope, V(z) phenomenon, has been studied and a new type of NDE technique has been presented. 10 Won coin, aluminium, IC component, and kevlar-epoxy samples have been used for the experiment of NDE and the acoustic microscope operating at a center frequency of 3 MHz has been used in the focused or defocused mode of operation. In experiment, it has been shown that the acoustic microscope has the resolution of $500\mu m$ and the defects present on the surface and near surface of samples have been detected by acoustic transducer and imaged on a monitor, and the variation of the contrast of image for samples has been in good agreement with V(z) phenomenon.

본 논문에서는 반사형 음향 현미경의 반사응답 특성인 V(z)현상을 고찰하고 이 현미경을 이용한 새로운 형태의 비파괴 검사 기술을 제시한다. 10원 주화, 알루미늄, 집적회로 소자, 그리고 kevlar-epoxy 등을 샘플로서 선택하고 중심주파수 3 MHz의 음향 현미경을 focused mode 및 defocused mode에서 동작시켜 실험하였다. 이 과정에서 음향 현미경의 분해능은 $500\mu m$로 나타났고 샘플의 표면 및 그 내부에 존재하는 결함은 검출되어 이를 영상화하였으며 샘플에 대한 영상의 콘트라스트 변화는 V(z)현상과 잘 일치함을 보였다.