저속축류형 $CO_2$ 레이저의 개발

본연구는 비금속 재료 가공에 적합한 100W 출력의 저속축류형 (Slow Axial flow type) CO$_{2}$ 레이저를 제작한 것이다. 최대 출력은 CO$_{2}$;N$_{2}$;He의 비 (ratio)가 1:6:13이고, 관내 압력이 23.5Torr, 냉각온도 25.deg. C, 방전전류 64mA 일때 방전 개시 전압은 20KVDC, 방전 유지 전압은 10KVDC이었으며 최대출력 100w를 얻었다.