전기의세계

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

VLSI 제조공정에서의 고속열처리 장치의 응용현황

  • 김충기 (한국과학기술원 전기 및 전자공학과) ;
  • 김경태 (한국과학기술원 전기 및 전자공학과)
  • Published : 1987.02.01
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