초록
교환기, 컴퓨터 등 고속으로 동작하는 통신 시스팀에 쓰이는 반도체 소자를 제조하기 위한 고속 바이폴라 기술에 대해서 논하고자 한다. 고속으로 동작하는 집적회로를 얻기 위해서는 바이폴라 형태의 소자가 주로 이용되고 있으며, PSA구조에 의한 바이폴라 소자는 미래의 정보화시대에 크게 각광을 받을것으로 주목되고 있다. 그 중에서도 특히 비활성 베이스 영역의 크기를 축소시킨 형태의 PSA바이폴라 소자는 초고속 특성을 나타내므로 많은 관심의 대상이 되고 있다.