ETRI Journal

Electronics and Telecommunications Research Institute (한국전자통신연구원)
권호 표지

2마이크론의 설계치수를 갖는 ISL설계 및 제작

  • 이용재 (한국전자 통신연구소 바이폴라기술실) ;
  • 이진효 (한국전자통신 연구소.반도체 설계부)
  • Published : 1986.10.01
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Abstract

ISL(Integrated Schottky Logic)의 고집적화를 위하여 종래의 p-n 접합 격리 방법 대신에 산화막으로 격리시킨 2마이크론의 최소 설계치수를 갖는 소자를 설계, 제작하여 특성을 분석하였다. 접합 형성을 위한 불순물은 이온 주입법을 이용하여 고속소자가 필연적으로 갖추어야 하는 얕은 접합으로 형성을 시켰으며, 출력단의 쇼트키 다이오드는 백금 실리 사이드를 이용하였다. 링 발진기의 특성에서 최소 전달지연 시간은 한 게이트당 5.7ns의 속도 특성과 논리 진폭은 360mV의 현격한 특성을 나타내었다 .

Keywords