$LiNbO_3$ 단일모드 광도파관의 제작

Fabrication of a $LiNbO_3$ Single-Mode Optical Waveguide

  • 박동철 (충남대학교 전자교육공학과)
  • 발행 : 1979.05.01

초록

집적황학 도파관을 만들기 위해 LiNbO3 substrate 태로 전위원소인 Ti를 확산시켰다. L O out-diffusion 모드를 제거시킴으로써 단일 모드 도파관이 제작 될 구 있었다. 특성 측정에는 He- Ne 레이저(λ= 0.6328μm)와 프리즘 결합 방법이 사용되었다.

Deposited film of a transition metal, Ti was diffused into LiNbO3 crystals to form integrated optical waveguides. By suppressing L O out -diffusion, single-mode waveguides could be constructed. Measurements on characteristics were performed by using the prise coupling technique and a He-Ne laser. ( λ = 0.6328 $\mu$m)

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