전기의세계

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

반도체 실리콘의 제조 I

  • 주웅길 (한국과학원 재료공학과) ;
  • 고경신 (중앙대공대 물리대 화학과)
  • Published : 1979.09.01
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Abstract

본고에서는 첫째 과정인 화학적 방법에 의한 고순도 silicon을 얻는 방법을 중점적으로 다루기로 하고 silicon 단결정을 만드는 과정들과 silicon process technology에 대한 방법들에 대해서는 속편에 싣기로한다.

Keywords