Temperature Characteristics of Elastic Layer Mode Propagating on Piezoelectric Crystal

이층구조의 전반로를 갖는 단성표면파의 온도특성

The temperature coefficients and phase velocity dispersions of elastic surface wave layer mode with Ag or Pd layer on piezoelectric LiNbO3 svbstrate rotated 131$^{\circ}$ Y out are calculated as a function of thickness by numerical method. Calculated results are shown that the temperature coefficients are rapidly increased in proportion as the thickness of Ag layer increases. and irregular variation of the temperature coefficients appears in the case of Pd layer. Minimum value, -36$\times$10 /$^{\circ}C$, of the temperature coefficients of elastic surface wave with Pd layer on LiMbO3 substrate rotated 131$^{\circ}$ Y cut is obtained at wh=9000.

압전 결정 LiNbO3에서 탄성표면파(Rayleigh 표면파)의 온도계수가 가장 작은 131° 로테이트 Y캇트의 전반로에 Ag와 Pd를 증착하여 증착막의 두께에 따른 위상속도의 변화와 위상속도의 온도계수의 변화를 수치해석방법에 의하여 계산하였다. 계산한 결과 Ag의 경우는 증착막의 두께가 증가함에 따라 온도계수가 급격히 증가하나 Pd의 경우는 증가와 감소의 불규칙성을 보이며 wh=9000에서 -36×10 /℃의 위상속도의 온도계수의 최소치를 얻었다.