용액Ga에서 성장된 고순도 적층 GaAs의 제조와 그의 성질

GaAs single crystals were grown epitaxially from Ga solution with carrier concentrations in the range and electron mobilities between 7,500 and 9,300$\textrm{cm}^2$/v-sec. at 300$^{\circ}$K, and 50,000 and 95,000 $\textrm{cm}^2$/V-sec. at 77$^{\circ}$K. A comparison of the theoretical and experimental curves for the mobility vs. temperature indicates that the significant scattering mechanisms are ionized impurities and phonons in the temperature range of 77$^{\circ}$K to 439$^{\circ}$K. This indicates that the epitaxial layers do not contain other mobility limiting imperfections to a significant degree. Photoluminescence spectra of the. epitaxial layers did not show any emission due to deep lying imperfection leve1s.

GaAs의 단결정은 Ga의 용액으로부터 epitaxial 방법으로 성장시키는데 300°K에서는 carrier concentration 10 /㎤에서 electron-mobility 7,500∼9,300㎠/V-sec. 정도의 것이 얻어지며 77°K에서는 electron-mobility 50,000∼95,000㎠/V-sec.의 것이 얻어진다. mobility-온도 관계곡선의 이론적인 것과 실험적인 것을 비교해 보면 77°K에서 430°K의 온도범위내에서 ion화한 불순물과 phonon이 주요한 scattering mechanism이라는 것을 나타낸다. 이것은 epitaxial층이 mobility를 제한하는 다른 결함을 별로 내포하지 않는다는 것을 의미한다. epitaxial층의 photoluminescence spectra는 심부에 존재하는 결함의 준위에 의한 방출을 나타내지 않는다.