Acknowledgement
본 연구는 과학기술정보통신부 및 정보통신기획평가원의 대학ICT연구센터육성지원사업의 연구결과로 수행되었음 (IITP-2023-2018-0-01417)
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference (한국정보처리학회:학술대회논문집)
- 2023.11a
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- Pages.1254-1256
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- 2023
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- 2005-0011(pISSN)
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- 2671-7298(eISSN)
DOI QR Code
An Investigation into the Vibrational Characteristics of Rotary Pumps
펌프의 진동 분석
- Jong-Soo Sim (Dept. of Electronic Convergence Engineering, Hoseo University) ;
- Ju-Ho Park (Dept. of Electronic Convergence Engineering, Hoseo University) ;
- Dong-Yoon Sung (Dept. of Electronic Convergence Engineering, Hoseo University) ;
- Jang Hoo Lee (Dept. of Electronic Convergence Engineering, Hoseo University) ;
- Hyo Chul Kim (Rain ICT, Co.) ;
- Sungbum Park (Graduate School of Management of Technology, Hoseo University) ;
- Byung Seong Bae (Dept. of Semiconductor Engineering, Hoseo University)
- 심종수 (호서대학교 전자융합공학부) ;
- 박주호 (호서대학교 전자융합공학부) ;
- 성동윤 (호서대학교 전자융합공학부) ;
- 이장후 (호서대학교 전자융합공학부) ;
- 김효철 ((주)레인정보통신) ;
- 박승범 (호서대학교 기술경영전문대학원) ;
- 배병성 (호서대학교 반도체공과)
- Published : 2023.11.02
Abstract
반도체 공정은 주로 진공 중에서 이루어 지며 진공을 잘 유지하는 것이 매우 중요하고 여러 가지 종류의 펌프가 사용이 된다. 저진공펌프로 많이 사용되는 로타리 펌프에 대해서 진동 및 온도센서를 부착하고 펌프의 상태에 따른 진동의 변화 및 온도의 변화를 연구 하고 펌프의 예지 보전에 활용할 수 있도록 하였다.
Keywords