Annual Conference of KIPS (한국정보처리학회:학술대회논문집)

  • 2023.11a
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  • Pages.1254-1256
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  • 2023
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  • 2005-0011(pISSN)
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  • 2671-7298(eISSN)
Korea Information Processing Society (한국정보처리학회)
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An Investigation into the Vibrational Characteristics of Rotary Pumps

펌프의 진동 분석

  • Jong-Soo Sim (Dept. of Electronic Convergence Engineering, Hoseo University) ;
  • Ju-Ho Park (Dept. of Electronic Convergence Engineering, Hoseo University) ;
  • Dong-Yoon Sung (Dept. of Electronic Convergence Engineering, Hoseo University) ;
  • Jang Hoo Lee (Dept. of Electronic Convergence Engineering, Hoseo University) ;
  • Hyo Chul Kim (Rain ICT, Co.) ;
  • Sungbum Park (Graduate School of Management of Technology, Hoseo University) ;
  • Byung Seong Bae (Dept. of Semiconductor Engineering, Hoseo University)
  • 심종수 (호서대학교 전자융합공학부) ;
  • 박주호 (호서대학교 전자융합공학부) ;
  • 성동윤 (호서대학교 전자융합공학부) ;
  • 이장후 (호서대학교 전자융합공학부) ;
  • 김효철 ((주)레인정보통신) ;
  • 박승범 (호서대학교 기술경영전문대학원) ;
  • 배병성 (호서대학교 반도체공과)
  • Published : 2023.11.02
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Abstract

반도체 공정은 주로 진공 중에서 이루어 지며 진공을 잘 유지하는 것이 매우 중요하고 여러 가지 종류의 펌프가 사용이 된다. 저진공펌프로 많이 사용되는 로타리 펌프에 대해서 진동 및 온도센서를 부착하고 펌프의 상태에 따른 진동의 변화 및 온도의 변화를 연구 하고 펌프의 예지 보전에 활용할 수 있도록 하였다.

Keywords

Acknowledgement

본 연구는 과학기술정보통신부 및 정보통신기획평가원의 대학ICT연구센터육성지원사업의 연구결과로 수행되었음 (IITP-2023-2018-0-01417)