Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)

The Korea Institute of Information and Commucation Engineering (한국정보통신학회)
권호 표지

Data Analysis for Plasma Equipment Sensor data

플라즈마 공정 장비의 센서데이터 분석 연구

  • Ryu, Jinseung (Korea Institute of Science and Technology Information) ;
  • Jeong, Minjoong (Korea Institute of Science and Technology Information) ;
  • Jung, Hee-Jin (Korea Institute of Science and Technology Information)
  • 유진승 (한국과학기술정보연구원) ;
  • 정민중 (한국과학기술정보연구원) ;
  • 정희진 (한국과학기술정보연구원)
  • Published : 2022.05.26
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Abstract

플라즈마 공정장비 지능화를 이루기 위해서는 플라즈마 공정장비에서 플라즈마를 생성하는 다양한 조건 값에 따라 변화되는 플라즈마의 상태 값이 필요하며 이러한 데이터를 수집하기 위해 여러 종류의 측정 센서를 사용한다. 측정 센서에서 생산된 데이터를 이용하여 다양한 분석 기법을 사용하여 플라즈마 생성 조건 및 센서 데이터의 주요한 특징점 간의 관계성을 파악함으로써 플라즈마 공정장비의 상태를 진단할 수 있다. 이를 위해 플라즈마 공정장비에서 생산된 데이터를 기반으로 다양한 데이터 분석 연구를 통한 데이터간의 연관성을 보여주도록 한다.

Keywords

Acknowledgement

이 논문은 2020년 정부(과학기술정보통신부)의 재원으로 국가과학기술연구회 2020년도 미래선도형 융합연구단사업 (No. CRC-20-01-NFRI)에서 지원을 받아 수행된 연구임.