전력전자학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIPE Conference)

전력전자학회 (The Korean Institute of Power Electronics)
권호 표지

반도체 세정용 플라즈마 발생장치의 모듈형 인버터 구성 방법에 따른 비교 및 분석

Comparison and Analysis of Topological Configuration of Modular DC-AC Inverters for Plasma Generators

  • 권만재 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 장은수 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 안효민 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 이병국 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과)
  • Kwon, Man Jae (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Jang, Eunsu (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Ahn, Hyo Min (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Lee, Byoung Kuk (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University)
  • 발행 : 2019.07.02
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초록

본 논문에서는 반도체 세정용 플라즈마 발생장치의 인버터 구성에 따른 손실을 비교 및 분석한다. 플라즈마를 유지하기 위해 DC-AC 인버터는 고전압을 출력해야 한다. 따라서 고효율 동작을 위해 각 인버터 구성에 따른 trade-off를 고려한 회로 선정이 필요하다. 이를 위해 20 kW 급 시뮬레이션을 수행하고 이를 토대로 전력 반도체 소자 및 자성체에서 발생하는 손실, 부피, 가격 등 각 인버터 구성에 따른 장단점 분석을 진행한다. 또한 분석 결과를 통해 플라즈마 발생자치에 적합한 인버터 구성 방식을 제시한다.

키워드

과제정보

연구 과제 주관 기관 : 한국에너지기술평가원(KETEP)