전력전자학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIPE Conference)
- 전력전자학회 2019년도 전력전자학술대회
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- Pages.165-167
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- 2019
플라즈마 스퍼터링 공정용 DC 전원장치에 관한 연구
A Study on the DC Power Supply for Plasma Sputtering Process
- Kwon, Min-Jun (Hankyong National Univ) ;
- Lee, Woo-Cheol (Hankyong National Univ)
- 발행 : 2019.07.02