한국정보통신학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference)

한국정보통신학회 (The Korea Institute of Information and Commucation Engineering)
권호 표지

극미세 절연체 박막 증착을 위한 액상전구체 공급장치 제작

Liquid precursor delivery system for ultra thin film preparation

  • 안태준 (한경대학교 전기전자제어공학과) ;
  • 최범호 (한경대학교 전기전자제어공학과) ;
  • 유윤섭 (한경대학교 전기전자제어공학과)
  • Ahn, Tae-Jun (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University) ;
  • Choi, Bum Ho (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University) ;
  • Yu, Yun Seop (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University)
  • 발행 : 2018.05.31
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초록

본 논문에서는 반도체 소자에 적용되는 극미세 박막을 낮은 온도에서 증착하기 위한 액상 전구체 공급 장치 개발 및 이의 특성 평가를 소개한다. 액상전구체 공급장치는 aerosol generator, vaporizer, vapor storage로 구성되어 있으며, 액체 상태의 전구 물질을 기화하여 박막 증착에 사용하는 장치이다. 이를 이용하여 알루미나 극미세 박막을 증착하여 그 특성을 평가하였다.

We have developed liquis precursotr delivery system (LDS) for ultra thin film preparation in semiconductor devices. The LDS concists of 3 major parts : aerosol generator, vaporizer and vapor storage. By uaing LDS which was attached to plasma enhanced chemical vapor deposition system, thin Al2O3 layer was prepared at extremely low temperature and characterized.

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