Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)

The Korea Institute of Information and Commucation Engineering (한국정보통신학회)
권호 표지

Liquid precursor delivery system for ultra thin film preparation

극미세 절연체 박막 증착을 위한 액상전구체 공급장치 제작

  • Ahn, Tae-Jun (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University) ;
  • Choi, Bum Ho (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University) ;
  • Yu, Yun Seop (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University)
  • 안태준 (한경대학교 전기전자제어공학과) ;
  • 최범호 (한경대학교 전기전자제어공학과) ;
  • 유윤섭 (한경대학교 전기전자제어공학과)
  • Published : 2018.05.31
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Abstract

We have developed liquis precursotr delivery system (LDS) for ultra thin film preparation in semiconductor devices. The LDS concists of 3 major parts : aerosol generator, vaporizer and vapor storage. By uaing LDS which was attached to plasma enhanced chemical vapor deposition system, thin Al2O3 layer was prepared at extremely low temperature and characterized.

본 논문에서는 반도체 소자에 적용되는 극미세 박막을 낮은 온도에서 증착하기 위한 액상 전구체 공급 장치 개발 및 이의 특성 평가를 소개한다. 액상전구체 공급장치는 aerosol generator, vaporizer, vapor storage로 구성되어 있으며, 액체 상태의 전구 물질을 기화하여 박막 증착에 사용하는 장치이다. 이를 이용하여 알루미나 극미세 박막을 증착하여 그 특성을 평가하였다.

Keywords