한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.97.1-97.1
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- 2018
보호층을 삽입한 기판 일체형 고내열, 고신뢰성 멀티레이어 투명전극
Protection Barrier Inserted High Reliability Window Unified Multi-layer Transparent Electrode.
초록
본 연구는 초고온 열처리 과정에서 멀티레이어 투명전극 박막의 고내열성, 고신뢰성을 얻기 위해 보호층을 삽입한 연구이다. 먼저 보호층의 고내열 효과를 알아보기 위해 보호층을 삽입한 박막과 그렇지 않은 박막을 200, 300, 400, 500,
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