한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.31-31
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- 2018
자기조립단분자막을 이용한 구리 재배선 상의 Overburden 방지
Preventing Overburden on Cu Redistribution Layers with Self-Assembled Monolayers
- 발행 : 2018.06.13