전력전자학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIPE Conference)

전력전자학회 (The Korean Institute of Power Electronics)
권호 표지

원격 플라즈마 발생장치를 위한 고주파 전력변환 토폴로지의 성능 분석

Performance Analysis of High Frequency Power Conversion Topologies for Remote Plasma Generators

  • 성원용 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 채훈규 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 구근완 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 이병국 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과)
  • Sung, Won-Yong (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Chae, Hun-Gyu (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Koo, Keun Wan (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Lee, Byoung Kuk (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University)
  • 발행 : 2016.07.05
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

본 논문에서는 원격 플라즈마 발생장치 (Remote Plasma Generator, RPG)에 적용하기 위한 공진형 토폴로지에 대해 비교한다. 원격 플라즈마 발생장치는 AC-DC 정류기, DC-AC 인버터, 공진탱크, 플라즈마 발생용 리액터, 점화장치로 구성되며, 이는 기존의 SMPS와 유사한 구성이다. 하지만 플라즈마 부하는 기존의 전력전자 어플리케이션들과는 달리 점화조건과 플라즈마 유지 조건을 충족시켜야 한다는 특징이 있다. 따라서 본 논문에서는 각 공진형 토폴로지들의 특성 비교 분석을 통해 원격 플라즈마 발생장치에 대한 적용 가능성에 대한 분석을 수행하였으며, 시뮬레이션을 통해 검증하였다.

키워드