Proceedings of the KIPE Conference (전력전자학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Power Electronics (전력전자학회)
권호 표지

Performance Analysis of High Frequency Power Conversion Topologies for Remote Plasma Generators

원격 플라즈마 발생장치를 위한 고주파 전력변환 토폴로지의 성능 분석

  • Sung, Won-Yong (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Chae, Hun-Gyu (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Koo, Keun Wan (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Lee, Byoung Kuk (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University)
  • 성원용 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 채훈규 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 구근완 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 이병국 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과)
  • Published : 2016.07.05
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Abstract

본 논문에서는 원격 플라즈마 발생장치 (Remote Plasma Generator, RPG)에 적용하기 위한 공진형 토폴로지에 대해 비교한다. 원격 플라즈마 발생장치는 AC-DC 정류기, DC-AC 인버터, 공진탱크, 플라즈마 발생용 리액터, 점화장치로 구성되며, 이는 기존의 SMPS와 유사한 구성이다. 하지만 플라즈마 부하는 기존의 전력전자 어플리케이션들과는 달리 점화조건과 플라즈마 유지 조건을 충족시켜야 한다는 특징이 있다. 따라서 본 논문에서는 각 공진형 토폴로지들의 특성 비교 분석을 통해 원격 플라즈마 발생장치에 대한 적용 가능성에 대한 분석을 수행하였으며, 시뮬레이션을 통해 검증하였다.

Keywords