Proceedings of the KIPE Conference (전력전자학회:학술대회논문집)
- 2016.11a
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- Pages.135-136
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- 2016
A Study on the Resonant Converter for a Plasma Power Supply
플라즈마 전원장치용 공진 컨버터에 관한 연구
- Kwon, Min-Jun (Hankyong National Univ) ;
-
Kim, Tae-Hun
(Hankyong National Univ)
;
- Lee, Woo-Cheol (Hankyong National Univ)
- Published : 2016.11.25
Abstract
플라즈마 공정이 다양한 분야에 적용됨에 따라 플라즈마 전원장치에 대한 높은 관심과 다양한 연구가 진행되고 있다. 플라즈마 공정용 전원장치는 공정의 특성으로 인하여 아크가 발생할 수 있다는 문제점을 가지고 있으며, 또한 장치의 고효율화에 대한 요구가 늘어나고 있다. 이런 문제에 대한 해결과 요구조건을 달성하기 위한 연구가 진행되고 있다. 본 논문에서는 플라즈마 전원장치에 공진 컨버터를 적용하여 높은 효율을 달성하고 아크 문제를 해결하기 위한 조건에 대하여 연구 및 적용하였다. 시뮬레이션 및 실험을 통하여 회로의 동작을 확인하였다.
Keywords