Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Fabrication of TiO2 thin films for perovskite solar cell using RF magnetron sputter

  • Cho, Kyungjin (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Lee, Seunghun (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Kim, Seongtak (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Chung, Teawon (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Lee, Sang-won (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Kim, Soo Min (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Park, Hyomin (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Kang, Yoonmook (KU-KIST Green School, Graduate School of Energy and Environment, Korea University) ;
  • Lee, Hae-seok (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Kim, Donghwan (Department of Materials Science and Engineering, Korea University)
  • Published : 2016.02.17
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Abstract

페로브스카이트 태양전지는 차세대 태양전지로써 몇 년 사이에 매우 큰 폭으로 효율이 증가하고 있으며 활발한 연구가 진행되고 있다. 페로브스카이트의 태양전지의 구조는 전자전도체, 페로브스카이트 광흡수체, 정공전도체, 전극으로 구성된다. 전자전도체는 전자 포집성이 우수한 다공성 TiO2 층과 TiO2 박막 층으로 구성된다. 균일한 박막 TiO2를 형성하는 것은 페로브스카이트 태양전지의 개방전압 특성에 기여한다. TiO2 박막을 제조하는 방법으로써 용액을 사용한 스핀 코팅 법은 간편하게 제조가 가능하나, 일정한 두께의 박막을 형성하지 못하고 균일하지 못하는 단점을 가진다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 보다 균일한 TiO2 박막을 제조하였다. X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscope (SEM), Light IV, Quantum Efficiency (QE)로 분석하였다. 이를 통하여 제조방법 차이에 따른 페로브스카이트 태양전지의 영향을 분석하였다.

Keywords