Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2016.02a
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- Pages.271-271
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- 2016
유기박막트랜지스터를 위한 극초단 펄스 레이저 마이크로-나노 패터닝
- Jo, Jeong-Hyeong ;
- Chae, Sang-Min ;
- Kim, Yong-Hwi ;
- Lee, A-Ra ;
- Lee, Hyeon-Hwi ;
- Choe, Ji-Yeon ;
- Kim, Hyo-Jeong
- 조정형 (부산대학교 유기소재시스템공학과) ;
- 채상민 (부산대학교 유기소재시스템공학과) ;
- 김용휘 (부산대학교 유기소재시스템공학과) ;
- 이아라 (부산대학교 유기소재시스템공학과) ;
- 이현휘 (포항가속기연구소) ;
- 최지연 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
- 김효정 (부산대학교 유기소재시스템공학과)
- Published : 2016.02.17
Abstract
highly doped N-type 실리콘 기판 위에 극초단 펄스 레이저를 이용하여 LIPSS (Laser-Induced Periodic Surface Structure) 패턴을 형성하였다. 형성된 LIPSS 구조는