Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2016.02a
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- Pages.247.2-247.2
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- 2016
플렉서블 가스 센서 응용을 위한 화학기상증착법 기반 MoO3 박막 합성
- Son, Ju-Hyeon (School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- An, Chi-Seong (Sungkyunkwan Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University) ;
- Kim, Hyeong-U (Sungkyunkwan Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University) ;
- Park, Gi-Beom (School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Kim, Gi-Jung (School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Sin, Hye-Ji (School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Kim, Tae-Seong (School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University)
- Published : 2016.02.17
Abstract
산업 발달에 따라 여러 유해 가스들의 양이 많아지고 그 종류가 다양해지고 있다. 이에 따라 가스센서의 필요성도 더욱 증가 하였고, 이러한 변화에 대응하기 위해 기존 가스 센서로 이용되던