Study on SF6/O2 Plasmas for Copper Surface Characteristics

SF6/O2 플라즈마를 이용한 구리 표면 처리 후 표면 Corrosion 특성 연구

  • 임노민 (고려대학교 제어계측공학과) ;
  • 이준명 (고려대학교 제어계측공학과) ;
  • 이재민 (고려대학교 제어계측공학과) ;
  • 이병준 (고려대학교 제어계측공학과) ;
  • 권광호 (고려대학교 제어계측공학과)
  • Published : 2015.11.26

Abstract

본 연구에서는 디스플레이 패널 식각에 있어서 전극인 구리 박막 표면에 $SF_6/O_2$ 플라즈마 사용 시 발생되는 Corrosion 현상을 분석하기 위해 $SF_6/O_2$ 가스의 조성비를 변화하며 실험을 진행하였다. 유도결합 $SF_6/O_2$ 플라즈마를 이중 랭뮤어 탐침과 광 분광법을 이용한 플라즈마 진단을 통해 $SF_6/O_2$의 조성비의 변화에 따른 플라즈마 상태를 분석하고, $SF_6/O_2$ 플라즈마 조성비를 변화시켜 구리 박막의 표면을 처리한 후 발생되는 Corrosion과 Corrosion이 구리에 미치는 영향을 조사하기 위해 XPS, SEM, 4 point probe 등을 이용하였다.

Keywords