한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

고경도 투명 박막 구현을 위한 플라즈마 코팅 기술 개발 연구

Study of Plasma Coating Technology to High Hardness and Transmittance Thin Film

  • 변은연 (재료연구소(KIMS) 표면기술연구본부 플라즈마공정연구실) ;
  • 신민호 (재료연구소(KIMS) 표면기술연구본부 플라즈마공정연구실) ;
  • 김도근 (재료연구소(KIMS) 표면기술연구본부 플라즈마공정연구실)
  • 발행 : 2015.11.26
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초록

선형 이온빔 적용 플라즈마 표면처리 기술 및 코팅 공정을 통해서 고경도 투명 박막 형성 연구를 수행하였다. 플라즈마 전처리를 통해서 박막과 기판 사이의 밀착력을 향상시키고, advanced linear PECVD와 advaced plasma source를 적용하여 SiOxNy계의 박막을 형성하였다. 그 결과 투과도 92 % 이상, 표면 경도 6.3~6.9 GPa 이상의 고경도 투명 박막을 개발하였다. 본 연구 공정을 바탕으로 고경도의 투명 보호 필름 및 투명 디스플레이에 응용이 가능할 것으로 기대된다.

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