Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2015.11a
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- Pages.305-305
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- 2015
Heat Spreading Characteristics of CVD Diamond Film Substrate
CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성
- Published : 2015.11.26
Abstract
알루미늄 방열판 위에 MPCVD(Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장치를 이용하여 DC 바이어스 전압을 기판에 인가하면서
Keywords