Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Study of Piezoelectric Nanogenerator by using Nanoimprinted Electrode and Zinc Oxide Nanowires

나노 임프린트 전극 구조체와 산화아연 나노와이어를 이용한 압전 소자 연구

  • 엄현진 (한국생산기술연구원 뿌리기술연구소 표면처리그룹) ;
  • 정준호 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 박인규 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2015.11.26
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Abstract

고 기계적 특성을 가지는 나노 임프린트 전극 구조체를 전극으로 이용하여 산화아연 나노와이어를 습식 도금하여 성장시키고, 열전 소자 특성을 분석하였다. 나노선 어레이 형상을 가진 몰드와 열 임프린트 방식을 이용하여 폴리머 기판 표면위에 나노선 어레이 형상을 임프린트 하고, 열 증착 방식으로 금속 박막을 올려 폴리머 기판-금속 간 높은 접합력을 가지는 금속 전극을 형성하였다. 나노 임프린트 전극 구조체를 음극으로 하여 산화아연 나노와이어를 전극 위에 도금하고, 열증착 방식으로 상부 전극을 형성하여 최종적으로 압전 소자를 제조하여, 습식으로만 형성된 산화아연 나노와이어 다발의 압전 특성을 확인하였다.

Keywords