Effect of Surface Pre-treatment and Composition of Noble Metal Oxide on the DSE for High-rate Electroplating

표면 전처리 및 귀금속 산화물층 조성이 고속 전기도금용 DSE에 미치는 영향

  • 손성호 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹) ;
  • 김진화 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹) ;
  • 박성철 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹) ;
  • 김형미 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹) ;
  • 전상현 (LSMtron(주) 중앙연구소)
  • Published : 2015.11.26

Abstract

전기화학 성능이 우수하고 고내구성 고속 구리 전해도금용 DSE를 개발하기 위해 전기화학적 특성이 좋은 백금족 산화물의 조성비, 전처리 등의 공정으로 전극을 제조한 후, 고 전류밀도 조건에서 구리 전해도금을 실시하여 유기첨가제 소모율을 측정하여 최적의 전극제조 공정 조건을 확보하였다. 최적조건의 전극과 시제품 전극들을 비교분석한 결과, 상용 DSE와 비슷하거나 상회하는 내구수명을 가지는 것을 확인하였다.

Keywords