Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2015.11a
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- Pages.146-146
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- 2015
Studies on orientation and phase analyses of macro to nano structure using EM
전자현미경을 이용한 마이크로에서 나노크기 구조의 결정방위 및 상분석
- Published : 2015.11.26
Abstract
한국기초과학지원연구원(KBSI)에 설치되어 있는 SEM-EBSD 및 TKD와 NanoMEGAS 사의 TEM-ASTAR를 이용하여 마이크로미터에서 나노미터까지의 결정립방위와 상분석에 대한 연구를 수행하고 분석함으로써 제조공정에서의 오류 및 최적화된 공정조건을 제공한다.
Keywords