Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2015.05a
- /
- Pages.116-117
- /
- 2015
Study of thick coating process of hydrogen free diamond like carbon films using filtered vacuum arc method
자장 여과 진공 아크법으로 증착되는 수소 없는 DLC 후막화에 대한 연구
Abstract
수소가 없는 고경도 카본막의 수요가 증대됨에 따라, 자장 여과 아크법으로 증착되는 ta-C막을 1um 이상 증착하는 공정 기술에 대한 연구 내용을 발표하고자 한다.
Keywords