한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집
- /
- Pages.68-68
- /
- 2015
Hybrid 공정으로 코팅된 TiAlSiN 박막의 특성 연구
Properties of TiAlSiN Films by Hybrid Process of Cathodic Arc Deposition & Sputtering
초록
질화 티타늄(titanium nitride; TiN)은 색상이 미려하고 물리적 특성이 우수한 특성에도 불구하고 내산화성이 낮아 이를 해결하기 위해서 TiN에 Al을 첨가한 TiAlN 소재가 개발되었다. 하지만 난삭재 가공용 공구의 사용 온도가
키워드