Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2015.07a
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- Pages.1241-1242
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- 2015
Verification of the capacitive pressure sensor by FEA program
유한요소해석 프로그램을 이용한 정전용량형 압력센서의 검증
- Choi, Jae-Hyuk (Sogang University, Mechanical Engineering) ;
- Choi, Bumkyoo (Sogang University, Mechanical Engineering)
- Published : 2015.07.15
Abstract
이 연구는 정전용량형 압력센서 내의 공기가 센서 성능에 미치는 영향을 줄이고자 이론적 접근과 실험적 확인을 통해 제안된 바 있는 센서 모델을, 유한요소해석 프로그램인 ANSYS로 각각의 조건에 따라 해석하여 기존에 제시 된 결과들과 비교하는 과정을 다루었다. FEA(Finite Element Analysis)결과, air chamber를 추가한 센서는 기존의 센서보다 sensitivity가 향상되었음을 확인할 수 있었다. 또한, FEA로 얻은 sensitivity 값은 이론값과 1.8%~10.1%의 차이를 보였으며, sensitivity ratio는 이론값과 실험값의 중간 정도로 나타났다.
Keywords