한국정보처리학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference)

한국정보처리학회 (Korea Information Processing Society)
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개선된 이진화 방법을 이용한 영상 오류 검출기 설계에 관한 연구

A Study on Design of Image Defect Detector using Enhanced Threshold Method

  • 박명숙 (국립한경대학교 전기전자제어공학과) ;
  • 김상훈 (국립한경대학교 전기전자제어공학과)
  • Pak, Myeong Suk (Dept. of Electrical, Electronic and Control, Hankyong National University) ;
  • Kim, Sang Hoon (Dept. of Electrical, Electronic and Control, Hankyong National University)
  • 발행 : 2015.04.22
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초록

본 연구에서는 웨이퍼의 자동광학검사를 위한 결점 검출 비전 시스템을 개발하였다. 성공적 결점 검출을 위해 몇 가지 이진화 방법을 비교하였고, bimodal과 unimodal 분포에 모두 좋은 결과를 나타낸 개선된 Otsu 방법을 선택하였다. 빠르고 정확한 임계값 계산을 위해 ROI 추출기능을 개발하였으며 최종적으로 웨이퍼의 검출 패턴은 정의된 기준에 따라 영상 분류되었고 성능평가를 위해 14개 이상의 웨이퍼 영상으로 테스트하였다.

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