Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2015.08a
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- Pages.116.2-116.2
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- 2015
피라미드 구조로 에칭된 실리콘 기판 위에 성장 시킨 ZnO 나노막대 제작 및 표면분석
- Choe, Hyeon-Ji ;
- Lee, Yul-Hui ;
- Kim, Dong-In ;
- Lee, Yong-Min ;
- Kim, Ji-Yun ;
- Hwang, Gi-Hwan ;
- Seo, Hyeon-Jin ;
- Yu, Jeong-Hun ;
- Nam, Sang-Hun ;
- Bu, Jin-Hyo
- 최현지 (성균관대학교 화학과) ;
- 이율희 (성균관대학교 화학과) ;
- 김동인 (성균관대학교 화학과) ;
- 이용민 (성균관대학교 화학과) ;
- 김지윤 (성균관대학교 화학과) ;
- 황기환 (성균관대학교 화학과) ;
- 서현진 (성균관대학교 화학과) ;
- 유정훈 (성균관대학교 화학과) ;
- 남상훈 (성균관대학교 기초과학연구소) ;
- 부진효 (성균관대학교 화학과)
- Published : 2015.08.24
Abstract
우리는 실리콘 마이크로구조-ZnO 나노막대 피라미드 구조의 제작 및 표면 특성에 대해서 연구했다. 실리콘 마이크로 피라미드 배열을 구성하는 에칭된 기판 위에 임의의 주기적인 계층 구조로 된 ZnO 나노막대를 성장시켰다. 습식 화학 에칭은 피라미드의 Si 미세 구조를 제작하기 위해 사용되며, 산화 아연 나노막대를