Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2015.08a
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- Pages.99.1-99.1
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- 2015
Fourier transform infrared spectroscopy과 Quadrupole mass spectrometer을 이용한 Cyclopentadienyl Tris (dimethylamino) Zirconium의 열분해 특성 연구
Abstract
ALD와 CVD 공정을 진행 하는데 있어서 전구체의 평가 및 실시간 분해과정을 확인 하는 것은 매우 중요하다. 본 실험에서는 고유전 산화막에 쓰이는 Cyclopentadienyl Tris (dimethylamino) Zirconium, CpZr(NMe2)3 전구체의 증기압 특성과 FTIR, QMS를 활용하여