Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Electrical and optical properties of amorphous ITZO thin films examined for thin film transistor application

박막트랜지스터 소자 응용을 위한 비정질 ITZO 박막의 전기적 및 광학적 특성 분석

  • 조광민 (경북대학교 신소재공학부) ;
  • 김세윤 (경북대학교 신소재공학부) ;
  • 이준형 (경북대학교 신소재공학부) ;
  • 김정주 (경북대학교 신소재공학부) ;
  • 허영우 (경북대학교 신소재공학부)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

비정질 ITZO 박막은 ITZO(In:Sn:Zn= 8:1:1, 6:2:2, 4:3:3, 2:4:4) 타겟을 이용하여 상온에서 RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 제조 되었다. ITZO 박막의 물성을 알아보기 위하여 조성별, 산소 분압별 및 열처리에 따른 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 분석하였다. 박막 실험 결과를 바탕으로 ITZO(4:3:3) 박막을 채널 층으로 이용하여 성공적으로 박막 트랜지스터를 제작 하였다.

Keywords