한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

Zn와 SnO2를 이용한 다층박막에서 Zn층 두께 변화에 따른 구조적 특성 변화의 관찰

Influence of the Zn thickness on structural properties of Zn and SnO2 multilayer thinfilm

  • 김성재 (창원대학교 나노신소재공학과) ;
  • 박근영 (창원대학교 나노신소재공학과) ;
  • 정영승 (창원대학교 나노신소재공학과) ;
  • 송태권 (창원대학교 나노신소재공학과) ;
  • 고항주 (한국광기술원 광에너지연구센터) ;
  • 구본흔 (창원대학교 나노신소재공학과)
  • 발행 : 2014.11.20
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초록

본 연구는 준비된 쿼츠(Quartz)기판 위에 RF-스퍼터링을 이용하여 Zn와 $SnO_2$를 이용하여 다층구조 박막을 증착하고 열처리를 진행하였다. 증착 과정에서 Zn 증착시간을 조절함으로써 Zn 층의 증착 두께를 조절하고 각각의 구조에서 Zn층의 두께가 다층박막의 특성의 변화를 관찰하였다. 박막의 결정학적 특성을 관찰하기 위해 XRD를 통하여 구조적 특성을 확인 하고 분석하였다.

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