한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

공정분석을 위한 QMS 차등 배기 시스템의 분석

Analysis of the QMS differential exhaust system for process analysis

  • 정진용 (국립 군산대학교 플라즈마융합공학 대학원) ;
  • 유영군 (국립 군산대학교 신소재공학과) ;
  • 임진형 (국립 군산대학교 신소재공학과) ;
  • 김형주 (국립 군산대학교 신소재공학과) ;
  • 최용섭 (국가핵융합연구소) ;
  • 주정훈 (국립 군산대학교 플라즈마융합공학 대학원)
  • 발행 : 2014.11.20
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초록

QMS(quadruple mass spectrometer) system은 식각 및 증착 공정 중 chamber 내부의 잔류기체를 분석하여 다양한 실험환경과 조건에서 신뢰성 있는 혼합가스조성비를 분석할 수 있게 해주며 chamber 내부의 압력에 따라 hexblock의 valve를 통해 QMS의 내부 압력을 조절할 수 있다.

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