한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

음극 아크를 이용 청정공정 조건에 따른 TiAlN 박막의 표면관찰

Surface Observation of TiAlN Coatings by a Cathodic Arc : Effects of Cleaning Process Conditions

  • 김성환 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터) ;
  • 양지훈 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터) ;
  • 송민아 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터) ;
  • 정재훈 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터)
  • 발행 : 2014.11.20
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초록

티타늄-알루미늄-질화물(TiAlN)은 고능률 절삭 분야에 사용되는 공구의 수명 향상을 위한 표면처리 소재로 많이 이용되고 있다. 음극 아크로 코팅할 경우, 거대 입자가 박막 표면에 존재하여 박막의 품질을 저하시킨다. 본 연구에서는 공구의 수명을 향상시키는 TiAlN 박막을 TiAl 합금 타겟을 이용하여 형성하였으며, 거대입자의 생성을 줄일 수 기판 청정공정을 도출하였다. 그리고 따른 박막표면을 관찰하였다.

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