한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.12-12
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- 2014
원자층식각시스템을 이용하여 이황화 몰리브뎀을 층간 컨트롤
Layer by Layer Control of MoS2 Film through Atomic Layer Etching System
- 발행 : 2014.11.20