Proceedings of the Korea Contents Association Conference (한국콘텐츠학회:학술대회논문집)

The Korea Contents Association (한국콘텐츠학회)
권호 표지

A Study on TCO thin film for transparent display upper electrode

투명 디스플레이 실현을 위한 상부 전극용 TCO 박막제조 및 특성 분석

  • Kim, Eun-Seo (Kyungwoon University, Dept. of Materials & Energy Engineering) ;
  • Park, Hyung-Jun (Kyungwoon University, Dept. of Materials & Energy Engineering) ;
  • Kim, Howoon (Kyungwoon University, Dept. of Materials & Energy Engineering) ;
  • Kim, Hae-Mun (Kyungwoon University, Dept. of Materials & Energy Engineering) ;
  • Park, Jin-Soo (Kyungwoon University, Dept. of Materials & Energy Engineering) ;
  • Kim, Young-Eun (Kyungwoon University, Dept. of Materials & Energy Engineering) ;
  • Kim, In-Soo (Kyungwoon University, Dept. of Materials & Energy Engineering)
  • 김은서 (경운대학교 신소재에너지학과) ;
  • 박형준 (경운대학교 신소재에너지학과) ;
  • 김호운 (경운대학교 신소재에너지학과) ;
  • 김해문 (경운대학교 신소재에너지학과) ;
  • 박진수 (경운대학교 신소재에너지학과) ;
  • 김영은 (경운대학교 신소재에너지학과) ;
  • 김인수 (경운대학교 신소재에너지학과)
  • Published : 2014.11.21
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Abstract

본 연구에서는 DC magnetron sputter 장비를 사용하여 투명 디스플레이 실현을 위한 상부전극용 박막을 제작하였고, 제작된 박막의 광학적 특성과 물리적 특성을 분석하였다. 소다라임 유리기판 인가된 전판 위에 증착한 ITO의 경우에는 박막의 증착률압에 따라 두께와 굴절률이 증가함을 보였으며, 증착된 박막의 광학적 투과도는 박막의 두께에 따라 접차 감소함을 확인 하였고, 반면 고전도 특성을 가진 알루미늄 박막은 증착된 박막의 두께가 두꺼울수록 전면의 반사도가 증가하여 투명전극으로 사용할 수 없었으나 스퍼터의 내부의 분위기압을 높이고 인가된 전압을 높고 단시간에 박막을 증착하였을 경우에 약 70%정도 현재 보다 향상된 투명전극으로의 광학적 투과도 특성을 보였다.

Keywords