Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2014.02a
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- Pages.376.2-376.2
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- 2014
V-Zn계 산화물을 이용한 마이크로볼로미터적외선 센서의 구현
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Han, Myeong-Su
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Kim, Dae-Hyeon
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- Choe, In-Gyu ;
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Go, Hang-Ju
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Eom, Ju-Beom
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Park, Jae-Seok
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Sin, In-Hui
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Lee, Byeong-Il
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Kim, Du-Geun
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한명수
(한국광기술원 광바이오연구센터) ;
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김대현
(한국광기술원 광바이오연구센터) ;
- 최인규 (한국광기술원 광바이오연구센터) ;
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고항주
(한국광기술원 광바이오연구센터) ;
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엄주범
(한국광기술원 광바이오연구센터) ;
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박재석
(한국광기술원 광바이오연구센터) ;
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신인희
(한국광기술원 광바이오연구센터) ;
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이병일
(한국광기술원 광바이오연구센터) ;
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김두근
(한국광기술원 광바이오연구센터)
- Published : 2014.02.10
Abstract
마이크로볼로미터 적외선 센서는 인체감지, 전자부품의 품질검사, 에너지 절감, 산업시설감시 및 군사용으로 다양하게 적용되고 있다. 기존에 이러한 적외선 센서의 감지재료로 VOx 또는 비정질 Si이 가장 많이 사용되고 있으며, VOx는 감도가 높고, 세계적으로 가장 많이 사용되고 있는 물질이다. 본 연구에서는 기존의 VOx 박막 증착법을 개선하여 Zn 산화물 박막을 혼용한 적외선 감지재료를 이용한 마이크로볼로미터 제작 및 특성에 대해 보고한다. RF sputtering 방법으로 약 140 nm의 VOx/ZnO/VOx 샌드위치 박막을 증착하고, 산소분위기에서 열처리함으로써 온도저항계수(TCR)가 약 -3.0 %/K의 값을 갖는 특성을 구현하였다. 갓 증착된 V-Zn 박막에서는 XRD 스펙트럼에서는 V2O5 관련 피크가 주로 관측되었으며, 산소열처리에 의해 VO2 피크가 새롭게 관측되었다. 볼로미터 감지소자는 유효면적