Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2014.02a
- /
- Pages.372-372
- /
- 2014
반도체 검출기의 절연 최적화를 위한 다층 절연막 평가
- Park, Jeong-Eun ;
- Myeong, Ju-Yeon ;
- Kim, Dae-Guk ;
- Kim, Jin-Seon ;
- Sin, Jeong-Uk ;
- Gang, Sang-Sik ;
- Nam, Sang-Hui
- 박정은 (인제대학교 의용공학과) ;
- 명주연 (인제대학교 의용공학과) ;
- 김대국 (인제대학교 의료영상과학) ;
- 김진선 (인제대학교 의료영상과학) ;
- 신정욱 (인제대학교 의용공학과) ;
- 강상식 (한국국제대학교 방사선학과) ;
- 남상희 (인제대학교 의용공학과)
- Published : 2014.02.10
Abstract
반도체 검출기는 입사되는 X선 에너지에 의하여 이온화되어 발생하는 전자 전공쌍을 수집함으로 방사선 정보를 확인하는 선량계로써 많은 연구와 활용이 이루어지고 있다. 하지만, X선 에너지에 의하여 반도체 검출기에서 발생하는 전기적 신호량이 높지 않기 때문에 누설 전류의 저감이 필수적이다. 누설 전류를 저감시키기 위한 방안으로 반도체 층과 전극 층의 Schottky Contact 구조의 설계, Insulating Layer의 사용, 높은 비저항의 반도체 물질 연구 등이 이루어지고 있다. 하지만, 기존에 누설 전류 저감을 위하여 Insulating Layer를 전극층과 반도체 층 사이에 형성하는 연구에 있어서 Insulating Layer와 반도체 층의 계면 사이에서 발생하는 Charge Trapping으로 인하여 생성되는 신호의 Reproducibility 저하, 동영상 적용의 제한 등의 문제점을 겪어왔다. 이에 본 논문에서는 누설 전류를 저감시킴과 동시에 Charge Trapping의 최소화를 이루기 위하여 Insulating Layer의 두께 최적화 연구를 수행하였다. 본 연구에서 사용한 Insulating Layer는 검출기 표면에 입사하는 X선 정보 손실을 최소화 시키는 동시에 누설 전류와 Charge Trapping을 최소화 시키는 방법으로써 CVD방법으로 검출기 표면에 균일하게 Insulating Layer를 코팅하였다. Insulating 물질은 Parylene을 사용하였으며, 그 중 온도, 습도 등 외부환경에 영향을 적게 받는 type C를 사용하였다. 증착에 사용한 장비의 진공도는 Torr로 설정하여 증착되는 Parylene의 두께가 약