한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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- Pages.321-321
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- 2014
KOH 습식식각을 통한 GaN 기반 Micro-column LED 제작
- 공득조 (광주과학기술원) ;
- 강창모 (광주과학기술원) ;
- 최상배 (광주과학기술원) ;
- 서동주 (광주과학기술원) ;
- 심재필 (광주과학기술원) ;
- 남승용 (광주과학기술원) ;
- 이동선 (광주과학기술원)
- Gong, Deuk-Jo ;
- Gang, Chang-Mo ;
- Choe, Sang-Bae ;
- Seo, Dong-Ju ;
- Sim, Jae-Pil ;
- Nam, Seung-Yong ;
- Lee, Dong-Seon
- 발행 : 2014.02.10
초록
GaN는 LED, 태양전지, 그리고 전자소자 등에 쓰이는 물질로, 관련 연구가 활발히 진행되고 있으며, 이와 더불어 top-down방식을 활용한 소자제작 방법 또한 발달되고 있다. 하지만, top-down공정 시 발생 되는 건식 식각에 의한 소자의 손상이 발생되고, 이로 인하여 누설전류가 발생하는 등 여러 가지 문제점이 발생하고 있다. 특히, top-down에서 널리 사용하는 건식식각을 통한 GaN 식각의 경우, nonpolar 면이 아닌, semipolar 면이 드러나게 되며, 이 면은 건식 식각시 발생하는 손상을 포함하고 있다. 본 연구에서는 이러한 문제를 해결하기 위해서, 약