Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

스핀코팅방법으로 증착된 ZnO 박막의 Zn-seed층 열처리에 따른 구조적 및 광학적 특성

  • 박선희 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 남기웅 (인제대학교 나노융합공학과) ;
  • 문지윤 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 박영빈 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 박형길 (인제대학교 나노융합공학과) ;
  • 윤현식 (인제대학교 나노융합공학과) ;
  • 김영규 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 지익수 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 김익현 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 김동완 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 김종수 (영남대학교 물리학과) ;
  • 김진수 (전북대학교 신소재공학부) ;
  • 임재영 (인제대학교 나노공학부)
  • Published : 2014.02.10
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Abstract

본 연구에서는 스핀코팅방법으로 증착된 ZnO 박막의 Zn-seed 층 열처리에 따른 구조적 광학적 특성에 관한 연구를 수행하였다. ZnO 박막을 증착하기 전, Quartz 기판에 열증착법으로 Zn-seed층을 증착하였고, furnace에서 300, 350, 400, $450^{\circ}C$의 온도로 1시간 동안 열처리하였다. ZnO 박막은 스핀코팅방법으로 5층을 증착한 후, $600^{\circ}C$에서 1시간 동안 후열처리를 하였다. X-ray diffractometer, UV-visible spectrometer, Photoluminescence를 이용하여 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성을 분석하였다. 모든 ZnO 박막 시료에서 c-축 배향성을 나타내는 강한 ZnO(002)피크와 ZnO(100), ZnO(101) 회절피크가 나타났고, wurtzite 형태의 ZnO 박막이 관찰되었다. Zn-seed층을 $350^{\circ}C$에서 열처리함에 따라 deep-level emission 피크에 대한 near-band-edge emission 피크의 발광세기 비율이 증가하였으나, 온도가 증가함에 따라 점점 감소하였다. 또한, Zn-seed층을 $350^{\circ}C$에서 열처리 하였을 때 가장 높은 광 투과도를 나타내었다.

Keywords