Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2014.02a
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- Pages.290.2-290.2
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- 2014
스핀코팅방법으로 증착된 ZnO 박막의 Zn-seed층 열처리에 따른 구조적 및 광학적 특성
- Park, Seon-Hui ;
- Nam, Gi-Ung ;
- Mun, Ji-Yun ;
-
Park, Yeong-Bin
;
- Park, Hyeong-Gil ;
- Yun, Hyeon-Sik ;
- Kim, Yeong-Gyu ;
- Ji, Ik-Su ;
-
Kim, Ik-Hyeon
;
- Kim, Dong-Wan ;
-
Kim, Jong-Su
;
-
Kim, Jin-Su
;
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Im, Jae-Yeong
- 박선희 (인제대학교 나노공학부) ;
- 남기웅 (인제대학교 나노융합공학과) ;
- 문지윤 (인제대학교 나노공학부) ;
-
박영빈
(인제대학교 나노공학부) ;
- 박형길 (인제대학교 나노융합공학과) ;
- 윤현식 (인제대학교 나노융합공학과) ;
- 김영규 (인제대학교 나노공학부) ;
- 지익수 (인제대학교 나노공학부) ;
-
김익현
(인제대학교 나노공학부) ;
- 김동완 (인제대학교 나노공학부) ;
-
김종수
(영남대학교 물리학과) ;
-
김진수
(전북대학교 신소재공학부) ;
-
임재영
(인제대학교 나노공학부)
- Published : 2014.02.10
Abstract
본 연구에서는 스핀코팅방법으로 증착된 ZnO 박막의 Zn-seed 층 열처리에 따른 구조적 광학적 특성에 관한 연구를 수행하였다. ZnO 박막을 증착하기 전, Quartz 기판에 열증착법으로 Zn-seed층을 증착하였고, furnace에서 300, 350, 400,