Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2014.02a
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- Pages.290.1-290.1
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- 2014
스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 박막의 단계적 후열처리에 따른 구조적 및 광학적 특성
- Mun, Ji-Yun ;
- Nam, Gi-Ung ;
- Park, Seon-Hui ;
-
Park, Yeong-Bin
;
- Park, Hyeong-Gil ;
- Yun, Hyeon-Sik ;
- Kim, Yeong-Gyu ;
- Ji, Ik-Su ;
-
Kim, Ik-Hyeon
;
- Kim, Dong-Wan ;
-
Kim, Jong-Su
;
-
Kim, Jin-Su
;
-
Im, Jae-Yeong
- 문지윤 (인제대학교 나노공학부) ;
- 남기웅 (인제대학교 나노융합공학과) ;
- 박선희 (인제대학교 나노공학부) ;
-
박영빈
(인제대학교 나노공학부)
;
- 박형길 (인제대학교 나노융합공학과) ;
- 윤현식 (인제대학교 나노융합공학과) ;
- 김영규 (인제대학교 나노공학부) ;
- 지익수 (인제대학교 나노공학부) ;
-
김익현
(인제대학교 나노공학부)
;
- 김동완 (인제대학교 나노공학부) ;
-
김종수
(영남대학교 물리학과)
;
-
김진수
(전북대학교 신소재공학부)
;
-
임재영
(인제대학교 나노공학부)
- Published : 2014.02.10
Abstract
스핀코팅방법으로 증착된 ZnO 박막의 단계적 후열처리에 따른 구조적, 광학적 특성에 관한 연구를 수행하였다. 일반적으로 ZnO 박막은 한 층을 증착한 후에, 유기물을 제거하기 위하여 전열처리를 수행한다. 본 연구에서는 ZnO 박막을 전열처리와 후열처리를 동시에 단계적으로 수행하였다. X-ray diffractometer, UV-visible spectrometer, photoluminescence를 이용하여 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성을 분석하였다. 모든 시료에서 표면은 직경이 약 20 nm인 둥근 입자들로 이루어져 있었다. X-ray diffraction 패턴은