Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Development of Hydrophilic Surface Treatment System by Atmospheric Pressure Plasma Jet

  • 차주홍 (부산대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 하창승 (부산대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 손의정 (부산대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 김동현 (부산대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 이해준 (부산대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 이호준 (부산대학교 전자전기컴퓨터공학과)
  • Published : 2014.02.10
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

대기압 플라즈마는 기존의 저압 플라즈마에 비해 제작이 간단하고 조작이 간편하기 때문에 응용 가능 분야가 넓다는 장점이 있지만 다양한 외부 요인으로 인한 안정성의 문제로 저압 플라즈마의 모든 응용범위를 대신하기에는 문제점이 있다. 현재 이 문제점을 해결하기 위한 연구가 활발히 진행 중에 있으며, 기판 및 유리 세정, Bio-medical, 물질 합성 등 다양한 분야에 대한 응용 연구도 진행 중에 있다. 본 연구에서는 본 연구실에서 자체 개발한 전원 장치를 이용하여 대기압 플라즈마를 발생 시켰으며, He, Ar Gas를 이용하여 PDMS 기판과 유리 기판에 표면 처리 한 후 친수성 비교 분석 실험을 실시하였다. Optical Emission Spectroscopy(OES)장치와 ICCD camera를 이용하여 플라즈마 진단과 특성 분석을 실시하였으며 Computer Numerical Control (CNC) x-y-z 3축 stage를 이용하여 플라즈마 발생을 제어함으로서 재현성을 높은 플라즈마 표면 처리 연구를 진행 하였다.

Keywords