Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2014.02a
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- Pages.178.1-178.1
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- 2014
NiO 박막의 전기적, 전자적 및 광학적 특성
- Kim, Ju-Hwan ;
- Park, Chan-Ae ;
- Park, Su-Jeong ;
- Denni, Yuseurama ;
- Lee, Gang-Il ;
- Chae, Hong-Cheol ;
- Gang, Hui-Jae
- 김주환 (충북대학교 물리학과) ;
- 박찬애 (충북대학교 물리학과) ;
- 박수정 (충북대학교 물리학과) ;
- 유스라마 덴니 (충북대학교 물리학과) ;
- 이강일 (충북대학교 물리학과) ;
- 채홍철 (충북대학교 공동실습 실험관) ;
- 강희재 (충북대학교 물리학과)
- Published : 2014.02.10
Abstract
본 연구에서는 RF스퍼터링법에 의하여 유리기판에 NiO를 40 nm만큼 증착시킨후, 30분 동안 각각 상온,