한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

Filtered Vacuum Arc를 이용한 WC-Co상 DLC 박막 증착에서의 기판 전압에 따른 밀착력 특성 평가

Adhesion of Diamond-like Carbon Thin Film Prepared by Filtered Vacuum Arc: The Effect of Substrate Bias Voltage

  • 김기택 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 양원균 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 이승훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소)
  • 발행 : 2013.05.30
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초록

Diamond like carbon(DLC) 박막은 고경도, 저마찰, 내스크래치 특성을 요구하는 표면기술 응용분야에 널리 사용되며, 대면적 저가 코팅 방법 개발 및 물성 조절 기술이 요구된다. 본 연구에서는 Filtered Vacuum Arc (FVA)를 통해 증착되는 Hydrogen-free DLC 박막의 밀착력 제어를 위한 증착시 기판 전압에 따른 증착 및 밀착력 특성을 분석하였다. 기판전압이 0~-150 V 까지 변화함에 따른 스크래치 테스트 결과를 통해 최적 증착 조건을 도출하였다.

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